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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus
            阅读数: 13649

            Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus

            残余气体分析质谱仪 PrismaPlus--四级杆质谱分析仪
            上海伯东代理德国 Pfeiffer 残余气体质谱 QMG系列,??榛杓?,质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。内置四极分析仪、四极电子装置、电源件和Quadera 软件。残余气体质谱 QMG系列离子源配备两组灯丝,适用于多种测量用途,使用寿命长。
            Pfeiffer 四极质谱仪 PrismaPlus 主要优势:
            1. 模组化设计提供了产品最好的适应性
            2. 结构紧凑,性能出众
            3. 多种介面,系统集成简单
            4. 可通过乙太网网路化
            5. 测试过程快速稳定,解析度高
            6. 分析器以及电子的可替换性
            7. 双灯丝设计保证最大的可靠性
            8. 最低的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
            9. 配置Quadera®软体,操作直观
            残余气体分析仪 PrismaPlus 技术参数:

            型号

            QMG 220 F1

            QMG 220 F2

            QMG 220 F3

            QMG 220 M1

            QMG 220 M2

            QMG 220 M3

            检测器

            法拉第 Faraday (F)

            电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

            质量数 amu

            1–100

            1–200

            1–300

            1–100

            1–200

            1–300

            四极杆直径/长度

            6/100 mm

            最小检测极限 F mbar

            1X10-12

            2X10-12

            4X10-12

            5X10-12

            1X10-11

            2X10-11

            最小检测极限 M mbar

            -

            -

            -

            1X10-14

            < 2X10-14

            < 4X10-14

            对Ar的灵敏度 F A/mbar

            1X10-3

            6X10-4

            3X10-4

            5X10-4

            3X10-4

            1.5X10-4

            对Ar的灵敏度 M A/mbar

            -

            -

            -

            200

            200

            100

            最大工作压力 F

            1X10-4 mbar

            最大工作压力 M mbar

            -

            -

            -

            1X10-5

            1X10-5

            1X10-5

            对临近质量数的影响

            < 10 ppm

            < 20 ppm

            < 50 ppm

            < 10 ppm

            < 20 ppm

            < 50 ppm

            操作温度 F

            150 °C

            烘烤温度 F

            200 °C / 300 °C

            连接法兰

            DN 40 CF-F

            重量

            2.4 kg

            2.4 kg

            2.4 kg

            3.8 kg

            3.8 kg

            3.8 kg

                                 

            残余气体分析质谱仪应用四极质谱仪 QMG非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析
            1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺

            上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例一:分子束外延 MBE 气体分析
            Pfeiffer 质谱应用
            上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例二:对 XPS 系统的分析室残余气体进行定性和半定量分析
            上海伯东德国 Pfeiffer
            上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例三:分析真空钎焊过程中产生的气体成分和含量
            普发质谱应用

            1.设计紧凑
            PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验,高灵敏度,高稳定性和智慧化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固,紧凑的设计和简单的系统集成,并从中受益。
            2.应用范围广阔
            通过可选择质量数范围,检测器、离子源和介面介面等,该四极质谱仪可以应用于多个领域,例如:工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从品质保证,残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的最佳方案。
            3.检测速度快,灵敏度高
            PrismaPlusTM 四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围(1-100,1-200,1-300 amu)内,下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中,配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪,即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外,直接增加一个压力量规,PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。
            4.智慧化的软体
            Quadera 软体不仅操作简单,它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面,例如乙太网,数位式和类比式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。
             

            PrismaPlusTM 四极质谱仪尺寸及配件:


            Pfeiffer 气体质谱分析仪:上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer 指定销售维修中心,我司是国内最早代理 Pfeiffer 产品的公司,100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。

            其他产品
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