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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            Pfeiffer 普发多级罗茨泵
            阅读数: 117

            Pfeiffer 普发多级罗茨泵

            Pfeiffer 普发多级罗茨泵(干式真空泵)
            上海伯东 Pfeiffer 普发多级罗茨泵 (干式真空泵) 为各种应用提供清洁和干燥的真空环境!提供适合清洁制程应用的 ACP 系列多级罗茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 适合普通制程应用的 A3P 系列和适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
            、适合清洁制程应用的干泵
            气冷型多级罗茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保养, 适用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程.

            型号

            接口尺寸 DN

            极限真空度 mbar

            抽速

            最大漏率

            重量

            有气镇阀

            无气镇阀

            m3/h

            mbar l/s

            kg

            ACP 15 SD
            ACP 15 G

            25

            0.1

            3.10-2

            14

            < 5.10-7

            23

            ACP 28 SD
            ACP 28 G
            ACP 28 CV
            ACP 28 CP
            ACP 28 SH

            25

            0.1

            3.10-2

            27

            < 5.10-7

            30

            ACP 40 SD
            ACP 40 G
            ACP 40 CV
            ACP 40 CP
            ACP 40 SH

            40

            0.1

            3.10-2

            37

            < 5.10-7

            32

            SD: 标准版本, 适用于要求清洁无尘且无腐蚀性气体的应用设. 标准泵配有气镇阀, 可以改善小分子气体的抽气能力并避免泵内部冷凝. 三种气镇可选,满足不同应用
            G: 抗腐蚀版本, 适用于微量腐蚀性气体, 三个吹扫气体喷嘴可?;さ脱购透哐怪岢? 并稀释一定量的腐蚀性气体.
            CV: 耐水汽版本, 适用于抽气环境含有水汽的应用, 纯水蒸汽容量扩展至 1,000 g/h
            SH: 无氟版本
            CP: 气体回收版本, 通入气体必须是清洁,  无尘, 无腐蚀性的气体

            紧凑型多级罗茨泵 A 100 L , 用于洁净制程的整体式干泵

            型号

            进气口尺寸 DN

            极限压力 hPa

            抽速

            噪音比

            重量

            m3/h

            dB (A)

            kg

            A 100 L

            50

            6.6 X 10-3

            100

            58

            100

            A 100L ES

            50

            7 X 10-4

            100

            55

            100

            A 200 L

            50

            8 X 10-3

            200

            58

            100

            L: 标准版本    ES: 节能版本

            适合工业用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低极限压力多级罗茨泵 ACP 120 泵可用于冷冻干燥应用

            型号

            连接尺寸

            DN

            吹扫流为50 SL/mn

            极限压强

            抽速

            噪音比

            重量

            Mbar

            m3/h

            dBA

            kg

            ACP 120

            50

            NA

            95

            < 65

            205

            ACP 120 G

            50

            3E-2

            95

            < 65

            205

            ACG 600 G

            100

            6 X 10-3

            480

            68

            320

            二、适合普通制程应用的 A3P 系列, 适用于针对中型工艺的高能效先进技术
            具有三款型号可选, 由于产品极大地降低了运营成本, 使其在市场中脱颖而出. 与以往真空泵技术相比, 最高节约能耗可达 50%, 在工艺适应性方面, 该系列真空泵结合了最先进的技术.此外, 由于产品的结构设计紧凑, 使其与传统的真空泵相比, 可节约高达50%的空间.

            三、适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
             

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