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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            射频离子源 RFICP 380
            阅读数: 1985

            射频离子源 RFICP 380

            美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 特性:
            1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.
               2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配
            2. 离子源结构??榛杓?br /> 3. 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
            4. 栅极材质钼和石墨,坚固耐用
            5. 中和器 Neutralizer, 测量和控制电子发射,确保电荷中性
            6. 通气 Ar, O2, N2, others
            7. 离子束流: 电流: > 500毫安, 能量 100-1200eV
            考夫曼离子源 RFICP 380 技术参数

            型号

            RFICP 380

            放电腔 Discharge

            射频

            最大功率

            >1kW

            最大离子束电流

            >1000mA

            电压

            100-1500V

            气体

            惰性和活性

            流量

            5-50sccm

            真空度

            < 0.5mTorr

            离子光学(自适应)

            OptiBeamTM

            离子束直径@ grids

            38cm Φ (maximum)

            栅极材质

            离子束形状

            平行. 聚焦, 发散

            中和器

            LFN 2000

            高度

            15” (38.1cm)

            直径

            22.9” (58.2cm)

            Feedthrough direct

            12”CF

            1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理. 

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