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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            KRI 射频离子源 Gridded RFICP 系列
            阅读数: 2324

            KRI 射频离子源 Gridded RFICP 系列

            KRI 考夫曼离子源 Gridded RFICP 系列
            上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源 RFICP 系列,无需灯丝提供高能量, 低浓度的离子束, 通过栅极控制离子束的能量和方向, 单次工艺时间更长
            RFICP  系列提供完整的套装, 套装包含离子源, 电子供应器, 中和器, 电源控制等
            RFICP  系列离子源是制造精密薄膜和表面的有效工具, 有效改善靶材的致密性光透射,均匀性,附着力等

            RFICP系列离子源应用:
            离子辅助镀膜 IBAD( Ion beam assisted deposition in thermal & e-beam evaporation )
            离子清洗 PC (In-situ preclean in sputtering & evaporation )
            表面改性, 激活 SM (Surface modification and activation )
            离子溅镀IBSD (Ion beam sputter deposition of single and multilayer structures)
            离子蚀刻 IBE (Ion beam etching of surface features in any material)

            RFICP系列离子源技术参数:

            型号

            RFICP 40

            RFICP 100

            RFICP 140

            RFICP 220

            Discharge 阳极

            RF 射频

            RF 射频

            RF 射频

            RF 射频

            - 灯丝阴极

            - 射频功率

            0.6 kw

            1kw

            1kw

            2kw

            离子枪

            离子束

            离子束

            离子束

            离子束

            - 栅极

            根据实际应用选配

            - 对齐

             

            自对准

             

            自对准

             

            自对准

             

            - 离子束直径@栅极

            4cm

            10 或12cm

            14cm

            22cm

            中和器

            LFN 2000

            LFN 2000

            LFN 2000

            LFN 2000

            电源控制

            RFICP 1510-2-06-LFNA

            RFICP 1510-2-10-LFNA

            RFICP 1510-2-10-LFNA

            RFICP 1510-2-10-LFNA

            配置

             

             

             

             

            Cathode / Neutralizer

            LFN1000 or MHC1000 or RFN

            LFN2000 or MHC1000 or RFN

            LFN2000 or MHC1000 or RFN

            LFN2000 or MHC1000 or RFN

            基座

            法兰或Remote

            法兰或Remote

            法兰或Remote

            法兰或Remote

            高度

            5.0 英寸

            9.25 英寸

            9.8英寸

            11.8 英寸

            直径

            5.3 英寸

            7.52 英寸

            9.8 英寸

            16.1 英寸

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