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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            KRI 考夫曼离子源 KDC 160
            阅读数: 2729

            KRI 考夫曼离子源 KDC 160

            KRI 考夫曼离子源 KDC 160
            上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列最大,离子能量最强的栅极离子源, 适用于已知的所有离子源应用, 离子源 KDC 160 高输出设计,最大电流超过 1000 mA. 无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计,标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 800 mA.

            KRI 考夫曼离子源 KDC 160 技术参数

            型号

            KDC 160

            供电

            DC magnetic confinement

             - 阴极灯丝

            2

             - 阳极电压

            0-100V DC

            电子束

            OptiBeam™

             - 栅极

            专用, 自对准

             -栅极直径

            16 cm

            中和器

            灯丝

            电源控制

            KSC 1212

            配置

            -

             - 阴极中和器

            Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000

             - 安装

            移动或快速法兰

             - 高度

            9.92'

             - 直径

            9.1'

             - 离子束

            聚焦
            平行
            散设

             -加工材料

            金属
            电介质
            半导体

             -工艺气体

            惰性
            活性
            混合

             -安装距离

            8-45”

             - 自动控制

            控制4种气体

            * 可选: 可调角度的支架

            KRI 考夫曼离子源 KDC 160 应用领域
            溅镀和蒸发镀膜 PC
            辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
            表面改性, 激活 SM
            离子溅射沉积和多层结构 IBSD
            离子蚀刻 IBE

            其他产品
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