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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            Thermonics 低温冰水机
            阅读数: 4126

            Thermonics 低温冰水机

            Thermonics 低温冰水机
            上海伯东美国 inTEST 旗下 Thermonics® 低温冰水机, 提供低温极限 -80°C, -60°C, -40°C 共计 18种标准机型, 低温冰水机单级压缩机, 级联冷却, 冷凝器水冷或风冷; 可编程的触摸屏, 支持远程通讯. 低温冰水机方便移动操作, 满足高容量的制冷需求, 适用于汽车, 能源, 工业化学, 半导体等行业.

            Thermonics 低温冰水机: 精密温度控制, 适用于半导体前端和后端的应用, 例如半导体刻蚀设备降温
            . 最高冷却功率 15 kW
            . 温度范围:  -80 至 200 °C
            . 适合各种热交换流体
            . 风冷和水冷模式
            . 导热流体压力和流量控制
            . ISO 9001 和 ITAR 认证
            . 可编程的触摸屏
            低温工艺流体冰水机
            Thermonics 低温冰水机, 风冷型

            型号

            温度范围
            °C

            精度
            °C

            冷却能力 kW @ 20°C 供水

            泵抽速
            l/min

            资料下载

            25

            0

            -20

            -40

            -45

            -60

            -70

            -80

            A-40-1100

            -40 至 +50

            ±0.5

            6.6

            6.6

            4.0

            1.1

            0.5

            -

            -

            -

            15

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            A-40-1900

            -40 至 +50

            ±0.5

            9.5

            9.5

            5.4

            1.9

            0.7

            -

            -

            -

            23

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            A-40-2700

            -40 至 +50

            ±0.5

            14.5

            14.5

            9.6

            2.7

            1.2

            -

            -

            -

            38

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            A-60-2700

            -60 至 +50

            ±0.5

            3.9

            3.9

            3.6

            3.1

            3.0

            2.7

            -

            -

            11

            下载 PDF

            A-60-3000

            -60 至 +50

            ±0.5

            4.6

            4.6

            3.7

            3.5

            3.4

            3.0

            -

            -

            23

            下载 PDF

            A-60-4600

            -60 至 +50

            ±0.5

            6.7

            6.7

            6.1

            5.3

            5.1

            4.6

            -

            -

            30

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            A-80-500

            -80 至 +50

            ±0.5

            2.3

            2.3

            2.2

            2.1

            2.0

            1.8

            1.5

            0.5

            11

            下载 PDF

            A-80-1700

            -80 至 +50

            ±0.5

            3.4

            3.5

            3.1

            2.8

            2.7

            2.3

            2.1

            1.7

            23

            下载 PDF

            A-80-2400

            -80 至 +50

            ±0.5

            5.0

            5.1

            4.5

            3.9

            3.8

            3.3

            3.1

            2.4

            30

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            Thermonics 低温冰水机, 水冷型

            型号

            温度范围
            °C

            精度
            °C

            冷却能力 kW @ 20°C 供水

            泵抽速
            l/min

            资料下载

            25

            0

            -20

            -40

            -45

            -60

            -70

            -80

            W-40-1100

            -40 至 +50

            ±0.5

            8.0

            8.0

            4.6

            1.1

            0.6

            -

            -

            -

            15

            下载 PDF

            W-40-2000

            -40 至 +50

            ±0.5

            10.0

            10.0

            6.0

            2.0

            1.0

            -

            -

            -

            23

            下载 PDF

            W-40-3100

            -40 至 +50

            ±0.5

            15.5

            15.5

            10.0

            3.1

            1.4

            -

            -

            -

            38

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            W-60-2800

            -60 至 +50

            ±0.5

            4.0

            4.0

            3.7

            3.2

            3.1

            2.8

            -

            -

            11

            下载 PDF

            W-60-3100

            -60 至 +50

            ±0.5

            4.7

            4.7

            4.3

            3.7

            3.6

            3.1

            1.1

            -

            23

            下载 PDF

            W-60-4700

            -60 至 +50

            ±0.5

            6.8

            6.8

            6.2

            5.4

            5.2

            4.7

            4.0

            -

            30

            下载 PDF

            W-80-600

            -80 至 +50

            ±0.5

            2.5

            2.5

            2.3

            2.1

            2.0

            1.8

            1.6

            0.6

            11

            下载 PDF

            W-80-1800

            -80 至 +50

            ±0.5

            3.5

            3.5

            3.2

            2.9

            2.8

            2.4

            2.2

            1.8

            23

            下载 PDF

            W-80-2500

            -80 至 +50

            ±0.5

            5.1

            5.1

            4.5

            4.0

            3.9

            3.4

            3.2

            2.5

            30

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            * 所有水冷和风冷型号液体压力是 50 PSIG 或更少
            * -40 和-60°C 的低温性能使用 Syltherm XLT 热传导液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 热传导液
            * 如果需要使用其他类型热传导液或流速, 请联络上海伯东

            Thermonics 低温冰水机典型应用
            1. 半导体行业: 在离子注入机中冷却硅片夹
            2. 燃料电池能源: 低温冷却进入储罐的废气, 从废气中冷凝和分离二氧化碳
            3. 科研领域: 在一个压力容器中, 加热和冷却铜块

            Thermonics® 制冷机主要应用于能源, 化学工艺, 工业和半导体制造, 例如如下:

            制冷机类型

            冷却方式

            Max.Capacity

            温度范围

            导热介质

            应用市场

            传导液制冷
            双极

            水冷

            5kW @ -20°C

            -40 至 25°C    

            Syltherm XLT

            化学

            传导液制冷
            单极

            水冷

            2.5kW @ -60°C

            -60 至 25°C

            Syltherm XLT

            化学

            传导液制冷
            单极

            风冷

            270W @ -50°C

            -50 至 120°C

            HFE-7500   

            半导体

            传导液制冷
            双极

            风冷

            300W @ -80°C

            -80 至 200°C

            Syltherm XLT

            国防

            传导液制冷
            双极

            风冷

            3KW @ -60°C

            -60 至 20°C

            KRYO 60 

            能源

            气体制冷
            自然复叠

            风冷

            -100 °C @ 8 scfm

            -100 °C至空气

            清洁,干燥空气

            工业

            传导液制冷
            双极

            水冷

            2.2KW @ 20°C

            -50 至 40 °C

            HFE-7500

            半导体

            传导液制冷
            单极

            水冷

            12KW @ 15°C

            -15 至 20 °C

            PGW (25%)

            半导体

            气体制冷
            自然复叠

            风冷

            -90°C @ 18scfm

            -90 至 225 °C

            清洁,干燥空气

            汽车

            传导液制冷
            单极

            风冷

            1.5 KW @ -30 °C

            -40 至 50 °C

            Syltherm XLT

            工业

            传导液制冷
            双极

            水冷

            3.3KW @ -50°C

            -50 至 20 °C

            Syltherm HF

            汽车


            Thermonics 低温冰水机原理:
            冰水机 chiller
             

            Thermonics 超低温冰水机在半导体行业中的应用
            前端 Front End
            离子注入 Ion Implant
            蚀刻设备 Etch: 降温晶圆,
            沉积设备 Deposition
            后端 Back End
            各种测试处理 Final Test Handlers:
            举例: Thermonics 冰水机将制冷液体泵入测试设备进行半导体器件的冷态测试, Thermonics 冰水机可与各类半导体测试设备联用.

            美国 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机用于冷却工艺过程中的气体和液体. 型号包含低温液体冰水机, 超低温气体冰水机超低温液氮, 液态二氧化碳制冷机. Thermonics 低温冰水机可选水冷或气冷, 并与各种导热液体兼容. 满足各种超低温工艺冷却需求, 广泛应用于化学, 能源, 半导体, 汽车等领域. 上海伯东是美国 Thermonics 超低温冰水机中国总代理. 

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