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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            Pfeiffer 镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
            阅读数: 4415

            Pfeiffer 镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

            镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
            上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

            镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
            用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
            用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
            对测量结果的最小化背景影响
            提供压力高达 10 hPa 的压差型号
            多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
            灵活集成的紧凑尺寸
            通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活

            镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
            半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发

            镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成:涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
            Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

            镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势:
            镀膜工艺监测器离子源,适用于瞬时过程监测
            对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
            对测量结果的最小化背景影响
            压力高达 10 hPa 的压差版本
            多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
            紧凑设计,易于系统集成
            通过各种数字和模拟输入和输出
            Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数:

            SPM 系统控制

            BRU 220

            电压

            115-230 V

            前级泵

            MVP 020-3

            四极控制

            QME 220

            带 SPM 离子源的分析仪

            QMA 220

            探测器

            C-SEM/Faraday

            杆系统:材料

            不锈钢

            杆系统:直径

            6 mm 

            杆系统:长度

            100 mm 

            检测极限(氩中):二氧化碳

            < 100 ppb

            检测极限(氩中):氧气

            < 100 ppb

            检测极限(氩中):氮

            < 100 ppb

            检测极限(氩中):水

            < 3000 ppb

            检测极限(氩中):水蒸气

            < 500 ppb or < 6000 ppb

            涡轮分子泵

            带有 TC 110 RS 的 HiPace 80

            质量数

             

            1-100 amu or 1-200 amu

            过程压力至

            1 hPa or 10 hPa or 8hPa

            连接法兰(入口)

            DN 40 CF-F

            重量

            13 kg 

             

            若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
            上海伯东:叶女士                         台湾伯东:王女士
            T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
            F: +86-21-5046-1490                    F: +886-03-567-0049
            M: +86 1391-883-7267                 M: +886-939-653-958
            ec@hakuto-vacuum.cn                  ec@hakuto.com.tw
            qq: 2821409400

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