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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            Temptronic ThermoChuck
            阅读数: 5012

            Temptronic ThermoChuck

            Temptronic ThermoChuck
            上海伯东美国 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系统利用导电加热和冷却系统,搭配晶圆探针台共同使用,提供 -65 至 +300°C 高低温环境,适用晶圆 150 mm、200 mm、300 mm ,可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试,例如低泄漏探测(fA)和高电压探测(10 kv),适用于晶圆、芯片在电高低温环境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 适合各种厂牌晶圆探针台,为确保兼容性,具体选型还请拨打客服热线:021-50463511

            一、晶圆尺寸:150 和 200 mm

            ThermoChuck 型号

            温度范围°C

            冷却

            加热

            TP03000A

            -65 to +200°C

            Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

            热电

            TP03010A

            +20 to +200°C

            风冷/水冷*

            热电

            TP03010B

            0 to +200°C

            Closed loop glycol/water cooling

            热电

            TP03015A

            +30 to +200°C (+300ºC optional)

            风冷/水冷*

            电阻

            TP03015B

            +30 to +200°C (+300°C optional)

            Closed loop glycol/水冷

            电阻

            电压 115V或 220V
            * 用户提供冷却介质

            二、晶圆尺寸:300 mm

            ThermoChuck 型号

            温度范围°C

            冷却

            加热

            TP03500A

            -55 to +200

            Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

            电阻

            TP03500D

            +20 to +200

            Open loop air cooling with Vortex*

            电阻

            TP03500E

            +30 to +200

            Open loop air cooling*

            电阻

            电压 220V
            * 用户提供冷却介质

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