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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            干式真空泵 A4X 系列
            阅读数: 6331

            干式真空泵 A4X 系列

            干式真空泵 A4X 系列
            上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业,干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求,特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高,有效降低了企业成本。

            干式真空泵 A4X 系列核心优势:
            耐腐蚀设计,使用寿命长
            通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
            特殊设计,避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
            配置氮气吹扫阀,耐粉尘

            干式真空泵 A4X 系列应用
            半导体:(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
            涂料行业:光伏和 LED

            干式真空泵 A4X 系列技术参数:

            型号

            A 124 H

            A 604 H

            A 1204 H

            A 204 H
            A 204 X

            A 804 H
            A 804 X

            A 1504 H
            A 1504 X

            A 1804 H
            A 1804 X

            抽速 m3/h

            110

            560

            1150

            160

            700

            1200

            1700

            极限真空
            (氮气吹扫阀关闭) hPa

            2X10-2

            2X10-4

            9X10-4

            5X10-2

            2X10-3

            2X10-3

            2X10-3

            极限真空
            (氮气吹扫阀50 SLM) hPa

            5X10-2

            6X10-3

            6X10-3

            2X10-1

            9X10-3

            9X10-3

            9X10-3

            全转速最大进气气流 SLM

            80

            60

            55

            150

            100

            100

            70

            最大功率 KW

            1.5

            1.9

            2.3

            1.8

            2.2

            2.6

            2.6

            最大排气压力hPa

            1200

            1200

            1200

            1200

            1200

            1200

            1200

            进气口 ISO-KF

            DN 50

            DN 100

            DN 160

            DN 50

            DN 100

            DN 160

            DN 160

            重量 kg

            250

            370

            530

            260

            380

            540

            540

             

            干式真空泵 A4X 系列抽速:
            上海伯东干式真空泵 Adixen

            上海伯东 Adixen 干式真空泵


             

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