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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用
            阅读数: 7468

            KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

            伯东公司 KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

            常见蒸镀机台与对应 KRI 霍尔离子源型号:

            蒸镀机台尺寸

            KRI 离子源

            ~1100mm

            eH1010

            1100~1400mm

            eH1010, eH1020

            1400~1900mm

            eH1020, eH3000


            离子源


            KRI 考夫曼霍尔离子源 controller 自动化控制及联机自动化设计,提供使用者在操作上更是便利。

            离子源


            KRI 考夫曼霍尔离子源 Gun body ??榛杓?、提供使用者在于基本保养中能够降低成本及便利性。

            离子源


            伯东公司客户 1400 mm 蒸镀镀膜机安装 KRI考夫曼霍尔离子源 EH1020 F,应用于塑料光学镀膜。

            离子源
            离子源

            离子源


            KRI 考夫曼霍尔离子源 EH1020 主要参数:

            Filament Controller

            Discharge controller

            Gas controller

            17.2A/ 22V

            150V/ 4.85A

            Ar/ 32sccm

            离子源


            利用 KRI 考夫曼霍尔离子源辅助镀膜及无离子源辅助镀膜对镀膜质量之比较:

             

            KRI EH1020 辅助镀膜

            无 Ion Source 辅助镀膜

            盐水煮沸脱膜测试

            破坏性百格脱膜测试

            光学折射设率

            膜层致密性

            膜层光学吸收率

            制程腔体加热温度

            生产成本

             

             

             

             

             

             

             

             

             

             






            KRI 考夫曼霍尔离子源系列主要型号包含:

             

            离子源 eH200

             离子源 eH400

            离子源 eH1010

            离子源 eH1020

            离子源 eH3000

            Cathode

            Filament or Hollow cathode

            Filament or Hollow cathode

            Filament or Hollow cathode

            Filament or Hollow cathode

            Hollow cathode

            Water Cooled Anode

            no

            no

            no

            yes

            no

            Discharge Currentmax

            2 A

            3.5 (7) A

            10 (7) A

            10 (20) A

            20 (10) A

            Discharge  Voltagemax

            300 V

            300 (150) V

            300 (150 ) V

            300 (150) V

            250 (300) V

            Discharge  Voltagemin

            40* V

            40* V

            40* V

            40* V

            40* V

            Divergence (hmhw)

            45°

            45°

            45°

            45°

            45°

            Height (nominal)

            2.0”

            3.0”

            4.0”

            4.0”

            6.0”

            Diameter (nominal)

            2.5”

            3.7”

            5.7”

            5.7”

            9.7”

             

            伯东公司主要经营产品德国 Pfeiffer涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机美国KRI Kaufman 考夫曼离子源(离子枪)

             

            若您需要进一步的了解详细信息,请与我们联系:

            TEL: 86 (021) 50463511转106

            FAX: 86 (021) 50461490

            Email: ec@hakuto-vacuum.cn

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