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            上海伯东真空产品事业部搬迁通知

            线性霍尔离子源 eH Linear
            阅读数: 7215

            线性霍尔离子源 eH Linear

            KRI 线性霍尔离子源 eH Linear
            上海伯东代理美国原装进口 KRI  线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

            霍尔离子源 eH 400 尺寸
            尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
            放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A
            操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

            KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数

            型号

            eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

            供电

            DC magnetic confinement

              - 电压

            40-200V VDC

              - 阳极结构

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            电源控制

            eHL-30010A

            配置

            -

              - 阴极中和器

            Filamentless

              - 离子束发散角度

            > 45° (hwhm)

              - 阳极

            标准或 Grooved

              - 底座

            移动或快接法兰

              - 高度

            10 cm

            宽度

            10 cm

              - 长度

            ~ 100cm

              -工艺气体

            Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

             

            Model

            eHL 200-3

            eHL 200-5

            Height (nominal)

            2.9” (7.4cm)

            2.9” (7.4cm)

            Width (nominal)

            3.3” (8.4cm)

            3.3” (8.4cm)

            Length (nominal)

            Determined by number of modules & application

            Determined by number of modules & application

            Cathode/Neutralizer

            Yes

            Yes

            Anode module

            Yes

            Yes

            Filamentless

            Yes

            Yes

            Orientation

            Vertical / Horizontal

            Vertical / Horizontal

            Process gases

            Inert, reactive, & organic

            Inert, reactive, & organic

            Power controller

            eH Plasma Power Pack

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